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二硅化钴 Cobalt disilicide(CoSi2)
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二硅化钴 Cobalt disilicide(CoSi2)

产品名称:二硅化钴(CoSi2

规格:0.8-10um(D50)  

形貌:不规则

颜色:黑灰色 

特点:电阻率低、良好的热稳定性

用途:大规模集成电路

中文名称:硅化钴
化学式:CoSi2
分子量:115.104
CAS号:12017-12-8
EINECS号:234-616-8
密度:5.3g/cm3
熔点:1277℃
晶格常数:a=0.535nm
晶系:立方系结晶
外观:呈灰色的硅化物陶瓷粉末
溶解性:不溶于水

性质与稳定性:遵照规格使用和储存则不会分解。CoSi2可与热的盐酸作用,溶于盐酸,不溶于硫酸。能被王水、浓硝酸、强碱溶液及熔融的氢氧化碱和碳酸碱所侵蚀。可与硫化氢、氟化氢、氯化氢、氟、氯等发生化学反应。
合成方法:
按照CoSi2的化学组成比将钴粉与硅粉混合均匀,在隔绝空气的条件下将其熔融,并在1150℃的温度下保温100h,使其充分均质化,产物为接近单一相的CoSi2。
用途:硅化钴粉末具有电阻率低、热稳定性好等特点,主要用于大规模集成电路。此外,硅化钴具有类似于硅的晶体结构,因此可以在硅衬底上形成外延CoSi2/Si结构,以研究外延金属硅的界面特性。硅化钴(cosix)是金属与半导体连接所广泛所采用的材料,其作为半导体之基电极与金属导线之间的连接(inter-connect)在器件中工作。
贮存方法:保存于干燥、阴凉的环境中,不宜暴露空气中,防受潮发生氧化团聚,影响分散性能和使用效果。

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